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螺旋推進(jìn)燒結(jié)爐是指使粉末壓坯通過燒結(jié)獲得所需的物理、力學(xué)性能以及微觀結(jié)構(gòu)的專用設(shè)備。燒結(jié)爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機成分、完成鋁背場及柵線燒結(jié)。
為了保持粉末壓坯在燒結(jié)過程中的脫蠟(潤滑劑或成形劑)、還原、合金化、組織轉(zhuǎn)變等順利進(jìn)行,燒結(jié)時需要對燒結(jié)溫度、保護(hù)氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進(jìn)行正確的控制。
螺旋式連續(xù)推進(jìn)加熱爐(氮氣保護(hù))
(1)具有完善的潤滑劑燒除裝置(俗稱脫蠟帶)。
(2)具有氣密性,即能隔絕爐外空氣并保持爐內(nèi)保護(hù)氣氛暢通。
(3)爐內(nèi)的各段溫度可控,燒結(jié)氣氛可調(diào)。
(4)具有快速冷卻裝置,可將燒結(jié)零件快速冷卻到出爐溫度而不會氧化。
螺旋式連續(xù)推進(jìn)加熱爐(氫氣保護(hù))
1、用前級機械泵系統(tǒng)預(yù)抽真空,同時對爐體進(jìn)行加熱,有真空壓力表可檢測爐內(nèi)真空。
2、當(dāng)真空度達(dá)到預(yù)定指標(biāo)時,關(guān)閉真空泵。從充氣孔持續(xù)充入適當(dāng)計量的氨氣和氮氣混合氣體,并使?fàn)t內(nèi)氣壓略高與大氣壓,氣體從排氣口排出。有氣壓計可檢測爐內(nèi)氣壓。
3、當(dāng)爐體加熱區(qū)域溫度達(dá)到預(yù)定指標(biāo)時,啟動設(shè)備右側(cè)的空氣隔離進(jìn)料機(簡稱進(jìn)料機)連續(xù)進(jìn)料,同時啟動螺旋推進(jìn)電機使物料自右向左移動。
4、啟動設(shè)備左側(cè)的空氣隔離出料機(簡稱出料機)連續(xù)出料。
5、待物料全部進(jìn)入進(jìn)料機后,停止進(jìn)料,螺旋推進(jìn)電機繼續(xù)工作。
6、待出料機沒有物料排出后停止螺旋推進(jìn)電機和出料機。
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